TiAlSi
近年來，硬質涂層逐漸向多元化、納米化方向發展。在涂層中添加摻雜元素以提高涂層的硬度、耐氧化溫度以及潤滑性能，降低涂層內應力，成為當前刀具涂層研發的主要方向之一。
TiAlN涂層中通過添加Si元素可提高膜層的抗氧化性能和摩擦學性能，顯著提升刀具、模具的使用壽命。
安泰六九鉻鋁硼、鈦鋁硅靶材具有密度高、組織均勻、晶粒細小、產品質量穩定等特點，已批量應用于國內知名涂層企業，產品質量得到客戶認可。
100um晶粒組織 50um晶粒組織
成分(at%) Composition | 純度 Purity | 密度 Desity | 晶粒度 Grain Size | 制造工藝 Process |
TiAlSi 30/60/10 | ≥99.8% | ≥99% | 50um | 熱等靜壓 |
TiAlSi 40/50/10 | ≥99.8% | ≥99% | 50um | 熱等靜壓 |
尺寸 Size(mm) | Φ160*12 / Φ105*16 / Φ100*20 / Φ64*32 741*191*18 / 1701*132*12 矩形靶材最長可達1800mm，圓形靶材直徑可達350mm | |||
其他規格靶材根據客戶特殊需求提供 Other special specification are avaliabe on customers' request. | ||||